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リソグラフィエンジニアの戯言

@probablyclass1

半導体前工程のイエロールームに10年余。ものすごく狭いのに果てしなく広大な生産技術のあるあるを言語化してみるテスト。たまに棚卸してnote化してます↓

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linkhttps://note.com/probablyclass1 calendar_today14-02-2022 00:04:53

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a year ago

ASML用ウェーハアライメントマーク”PM mark”は、レガシープラットフォームPAS 5500の販売当初から長らく使用されてきました。配置の自由度が高くステッパーの元祖GCA社機との差別要因の1つでした。 なお会社ロゴは2012年に刷新、PMマークは削除され、いまやお馴染みのニューフォントに変わりました。

ASML用ウェーハアライメントマーク”PM mark”は、レガシープラットフォームPAS 5500の販売当初から長らく使用されてきました。配置の自由度が高くステッパーの元祖GCA社機との差別要因の1つでした。 なお会社ロゴは2012年に刷新、PMマークは削除され、いまやお馴染みのニューフォントに変わりました。